Датчики давления Freescale

Полупроводниковые датчики давления компании Freescale Semiconductor (бывшая Motorola) выполнены с использованием современной технологии МЭМС (формирование микромеханических структур на поверхности кристалла кремния). Датчики предназначены для измерения абсолютного, избыточного, дифференциального и вакуумного давлений сухих и влажных газов в диапазонах от 2,0 кПа до 0…1МПа. Основа приборов - уникальный запатентованный чувствительный элемент (преобразователь) X-ducer, представляющий собой Х-образную тензорезистивную структуру, имплантированную в кремниевую диафрагму. Преобразователь имеет высокие показатели линейности, повторяемости, от чувствительности и отношения сигнал/шум. Преобразователь монтируется в пластмассовый корпус, который в зависимости от типа измеряемого давления снабжен одним или двумя портами подвода давления, или же не имеет их вообще. Большинство датчиков содержат элементы температурной компенсации характеристики, калибровки смещения и диапазона, а также схемы нормализации выходного сигнала, реализованные на том же кристалле что и X-ducer.